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含氟气体

研究设计院有限责任公司是国内最早研究开发六氟化硫生产工艺的单位,致力于含氟电子特气的研究,取得数十项技术研究及革新成果,曾获全国科学大会奖,并主编工业级、电子级六氟化硫国家标准。

研究设计院有限责任公司在电解制氟及含氟气体制备、提纯、“三废”处理等工艺技术领域具有四十多年的科研和生产经验,拥有多项核心技术,综合技术实力达到国内领先水平,产品质量达到国际先进水平,部分技术已处于世界领先水平。近年来,电子级六氟化硫、三氟化氮、四氟化碳、六氟化钨等含氟特种气体的研发也取得了丰硕成果,超高纯六氟化硫、四氟化碳的研发列入国家重大专项课题。

目前已具有年产3500吨工业六氟化硫、2000吨电子级六氟化硫、4000吨电子级三氟化氮的生产能力,并重点实施2000吨/年电子级四氟化碳、600吨/年电子级六氟化钨(5N)、50吨/年电子级六氟乙烷(5N)和50吨/年电子级八氟环丁烷(5N)等含氟电子特气产品的产业化。六氟化硫、三氟化氮国内市场占有率约达50%,并销往欧盟、美国、日本、韩国、新加坡等国和台湾地区,在同行业处于领先地位,享有较高声誉。

未来几年,继续加大研发和产业化力度,担负起电子气体产品国产化的重担,逐步由生产商向国内一流的生产商+气体供应商转型发展,满足国内外相关领域发展的需求。

与韩国大成合资1000吨/年三氟化氮(NF3)项目。

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