氟化钨（VI），也称为六氟化钨，是一种无机化合物，化学式为WF6。它是一种有毒、有腐蚀性的无色气体，密度约为13 kg/m³。在标准条件下，它是已知密度最高的气体之一。
在电子工业中，六氟化钨（WF6）主要作为化学气相沉积（CVD）工艺的钨源用于半导体和线路板的制造，由它制成的硅化钨（WSi2）可用作大规模集成电路中的配线材料。此外，它还可用作半导体电极及碳化钨的制造。
公司具有先进的合成、精制提纯及分析技术，现有一套50吨/年生产装置，产品纯度为99.999%。
产品指标：纯度99.999%
| 轻组分杂质技术指标（10-6，体积分数） | ||||||||
| 项目名称 | O2 | N2 | CO | CO2 | CF4 | SF6 | SiF4 | HF |
| 指标 | ≤0.5 | ≤1.0 | ≤0.5 | ≤0.5 | ≤0.5 | ≤0.5 | ≤0.5 | ≤5.0 |
| 金属元素杂质（10-9，质量分数） | ||||||||
| 项目名称 | Fe | K | Na | Cr | Th | U | Co | Pb |
| 指标 | ≤20 | ≤20 | ≤15 | ≤10 | ≤0.1 | ≤0.1 | ≤10 | ≤10 |
| 项目名称 | Ca | Mg | Ni | Cu | Al | Mn | Mo | Zn |
| 指标 | ≤10 | ≤10 | ≤20 | ≤10 | ≤20 | ≤20 | ≤100 | ≤10 |
包装规格
| 气缸规格 | 10升 | 40升 |
| 填充质量 | 15kg | 50kg |
| 阀 | CGA638 | CGA638 |
危险等级：第2.3类 有毒气体
应用:
电子级六氟化钨：用于半导体产业中晶圆生产过程的外延片的钨沉积。
工厂图:
