三氟化氮（NF3）是一种无机、无色、不易燃、有毒的气体，有轻微的霉味。三氟化氮（NF3）是一种合成无机化学物质。它是通过盐酸（HCl）和氨（NH3）的反应制造的。
电子级三氟化氮（NF3）是近年发展起来的一种新型电子化学品,作为清洗和蚀刻气体用于平板显示、半导体制造、光伏等领域的行业用电子气体。它硅和氮化硅蚀刻具有更高的蚀刻速率和选择性，在被蚀刻物表面不留任何残留物资。
以成熟的电解、制氟技术为基础，经过多年不断的开发和完善，工艺技术达到世界先进水平。2009起，公司开始向中国大陆及台湾、日本、韩国客户稳定供货，产品声誉良好。
目前公司拥有4000吨/年的生产能力，可连续、稳定的生产出纯度为99.99% 级及更高规格的电子级三氟化氮产品。
产品指标:
| 项目名称 | GB/T 21287-2007 | Q/LMY106-2009 |
| 三氟化氮，10-2 | ≥ 99.99 | ≥ 99.995 |
| 四氟化碳，10-6 | ≤ 50 | ≤ 40 |
| 氮，10-6 | ≤ 10 | ≤ 5 |
| 氧加氩，10-6 | ≤ 5 | ≤ 3 |
| 一氧化碳，10-6 | ≤ 5 | ≤ 1 |
| 一氧化碳，10-6 | ≤ 5 | ≤ 5 |
| 氧化亚氮，10-6 | ≤ 5 | ≤ 5 |
| 氧化亚氮，10-6 | ≤ 5 | ≤ 5 |
| 可水解氟化物（以HF计）或总酸度，10-6 | ≤ 1 | ≤ 1 |
| 水，10-6 | ≤ 1 | ≤ 1 |
包装规格:
| 钢瓶体积 | 43L | 47L | 470L |
| 钢瓶容量 | 15kg | 20kg | 200kg |
| 瓶阀规格 | CGA330 | CGA640 | CGA640 |
产品应用：应用于半导体、电子工业、TFT-LCD、太阳能面板等领域
危险等级：第2.3类 有毒气体
应用:
电子级三氟化氮：它是近年发展起来的一种新型电子化学品，属于电子、半导体及光伏产业用电子级气体，主要用于电子元件的等离子蚀刻及清洗，在芯片制造、高能激光器、太阳能光电产业等方面获得大量应用。
工厂图:
