六氟化硫是一种无机化合物，化学式为 SF6。它是一种无色、无臭、不易燃、无毒的气体。
六氟化硫因具有优异的电绝缘和灭弧性能，近年来被广泛用于电力、电气行业以及激光、医疗、气象、制冷、消防、化工、有色金属、物理研究等。
研究设计院有限责任公司在国内最旱研究开发六氟化硫生产工艺，是现行工业级、电子级六氟化硫国家标准的主编单位。目前，拥有3500吨/年工业六氟化硫的生产能力，工艺技术水平达到或超过世界先进水平，产品质量稳定可靠，赢得了国内外广大用户的信赖和好评。
产品指标:
| 项目名称 | GB/T 12022-2006 | Q/LMY 034-2006 | |
| 六氟化硫，% | ≥ 99.9 | ≥ 99.96 | ≥ 99.99 |
| 空气，% | ≤ 0.04 | ≤ 0.02 | ≤ 0.003 |
| 四氟化碳，% | ≤ 0.04 | ≤ 0.02 | ≤ 0.001 |
| 水分，10-6 | ≤ 5 | ≤ 3 | ≤ 1 |
| 酸度（以HF计），10-6 | ≤ 0.2 | ≤ 0.1 | ≤ 0.1 |
| 可水解氟化物（以HF计），10-6 | ≤ 1 | ≤ 0.4 | ≤ 0.2 |
| 矿物油，10-6 | ≤ 4 | ≤ 3 | ≤ 1 |
| 毒性 | 无毒 | 无毒 | 无毒 |
包装规格:
| 钢瓶体积 | 5L | 8L | 12L | 28L | 40L |
| 钢瓶容量 | 5~6kg | 8~10kg | 12~15kg | 25~30kg | 50kg |
| 瓶阀规格 | QF-2 | QF-2 | QF-2 | QF-2 | QF-2 |
产品危险等级：第2.2类 不燃气体
工业级六氟化硫：产品纯度99.99%，很高的介电强度, 良好的绝缘性能、灭弧性能和化学稳定性。 产品广泛应用于电力、电子、电气行业以及激光、医疗、气象、制冷、消防、化工、有色冶金、物理研究等领域。
电子级六氟化硫
电子级六氟化硫主要用作电子和半导体工业中化学气相沉积的清洗剂和等离子蚀刻剂，广泛用于TFT-LCD、半导体和太阳能面板等领域。
现拥有一套年产1000吨/年电子级六氟化硫的自动化生产装置，其电解制氟、合成、净化、提纯工艺技术达到国际先进水平，钢瓶洁净处理、低温洁净灌装工艺和高纯度气体分析水平处于国内领先地位。
自2006年始，公司产品稳定供应日本、台湾、韩国等国家和地区，用于液晶面板LCD-TFT的生产，是目前国内唯一能够生产高纯度六氟化硫的生产厂家。
表2 5.5N与5N六氟化硫产品规格
| 项目名称 | 指标 | |
| 六氟化硫 (SF6), 10-2 | ≥ 99.9995 | ≥ 99.999 |
| 氮气 (N2), 10-6 | ≤ 2 | ≤ 2 |
| 氧气 (O2), 10-6 | ≤ 1 | ≤ 2 |
| 水分 (H2O), 10-6 | ≤ 1 | ≤ 2 |
| 一氧化碳 (CO), 10-6 | ≤ 0.1 | ≤ 0.5 |
| 二氧化碳 (CO2), 10-6 | ≤ 0.3 | ≤ 0.5 |
| 甲烷 (CH4), 10-6 | ≤ 0.1 | ≤ 0.1 |
| 四氟化碳 (CF4), 10-6 | ≤ 0.5 | ≤ 0.5 |
| 酸度 (以HF计，质量分数), 10-6 | ≤ 0.04 | ≤ 0.04 |
| 可水解氟化物 (以HF计，质量分数), 10-6 | - | ≤ 0.2 |
可水解氟化物(以HF计，质量分数)
包装规格:
| 钢瓶体积 | 47L | 470L | 5L | 8L | 12L | 28L | 40L |
| 钢瓶容量 | 45~52kg | 500kg | 5~6kg | 8~10kg | 12~15kg | 25~30kg | 50kg |
| 瓶阀规格 | CGA590A | CGA716 | QF-2 | QF-2 | QF-2 | QF-2 | QF-2 |
产品危险等级：第2.2类 不燃气体
电子级六氟化硫：产品纯度已达99.999%（5N），主要用作电子和半导体工业中化学气相沉积的清洗剂和等离子蚀刻剂，广泛用于TFT-LCD、半导体和太阳能面板等领域。
应用:
