四氟化碳（CF4），又称作四氟甲烷，是一种无色、无毒、不燃烧气体，通常以压缩状态储存和运输，是目前半导体行业最主要的等离子体蚀刻气体之一，广泛应用于硅、二氧化硅、氧化硅、某些金属以及金属硅化物的蚀刻，同时，在低温制冷、电子器件表面清洗和气相绝缘方面也有大量应用。
依托先进的电解和制氟工艺，经过几年的研发，开发出了5N和5.8N的四氟化碳产品，并建立了100吨/年稳定的四氟化碳生产线。
表1 5.8N与5N四氟化碳产品规格
| 项目名称 | 指标 | |
| 四氟化碳 (CF4), 10-2 | ≥ 99.9998 | ≥ 99.999 |
| 氮气 (N2), 10-6 | ≤ 1 | ≤ 4 |
| 氧气 (O2), 10-6 | ≤ 0.5 | ≤ 1 |
| 水分 (H2O), 10-6 | ≤ 0.5 | ≤ 1 |
| 一氧化碳 (CO), 10-6 | ≤ 0.1 | ≤ 0.1 |
| 二氧化碳 (CO2), 10-6 | ≤ 0.4 | ≤ 1 |
| 六氟化硫 (SF6), 10-6 | ≤ 0.1 | ≤ 1 |
| 其它氟碳化合物 (F-C), 10-6 | ≤ 0.5 | ≤ 1 |
| 总酸度 (以HF计), 10-6 | ≤ 0.1 | ≤ 1 |
注：所有规格为体积分数。
包装规格:
| 规格 | 容器尺寸/外径×高度*（cm） | 平均重量（kg） | 平均容积（L） | 充装压力（MPa） | 充装量（kg） | 阀门规格 |
| DOT 3AA2265 | 23×130/23×138.5 | 52/55 | 43.3/46.7 | 14 | 26/28 | CGA580 铜阀 CGA320 铜阀 |
* 高度指瓶底到瓶颈的距离;
* 或根据客户要求提供其它规格的钢瓶和阀门。
应用领域：应用于硅、二氧化硅、氮化硅、金属硅化物以及某些金属的蚀刻、低温制冷、电子器件表面清洗和气相绝缘等
危险等级：第2.2类 不燃气体
应用:
电子级四氟化碳：它是目前半导体行业最主要的等离子体蚀刻气体之一，主要用于硅、二氧化硅、氮化硅、金属硅化物以及某些金属的蚀刻。在低温制冷、电子器件表面清洗和气相绝缘等方面被广泛应用。
工厂图:
